Rezerford teskari sochilgan spektrometriya - Rutherford backscattering spectrometry

Rezerford teskari sochilgan spektrometriya (RBS) bu analitik texnika ichida ishlatilgan materialshunoslik. Ba'zan yuqori energiyali ionlarning tarqalishi (HEIS) spektrometriyasi deb ataladi, RBS yuqori energiya ionlari nurining teskari sochilishini o'lchash orqali materiallarning tuzilishi va tarkibini aniqlash uchun ishlatiladi (odatda protonlar yoki alfa zarralari ) namunaga ta'sir qilish.

Geyger - Marsden tajribasi

Chapda: Kutilayotgan natijalar: alfa zarralari bezovta qilinmagan atomning olxo'ri pudingi modeli orqali o'tadi.
To'g'ri: Kuzatilgan natijalar: zarrachalarning ozgina qismi burilib, kichik, konsentrlangan musbat zaryadni ko'rsatdi.

Rezerfordning teskari spektrometriyasi nomi bilan atalgan Lord Ruterford, a fizik ba'zan otasi deb ataladi yadro fizikasi. Rezerford tomonidan o'tkazilgan bir qator tajribalarni boshqargan Xans Geyger va Ernest Marsden ning tarqalishini o'rganib, 1909-1914 yillarda alfa zarralari metall plyonkalar orqali. Alfa manbasidagi nomukammallik sabab bo'lgan deb o'ylagan "adashgan zarrachalarni" yo'q qilishga urinayotganda, Rezerford Marsdenga oltin folga namunasidan teskari parchalanishni o'lchashga urinishni taklif qildi. O'sha paytdagi dominantga ko'ra olxo'ri-puding modeli kichik manfiy elektronlar tarqalgan musbat mintaqa orqali tarqaladigan atomning yuqori energiyali musbat alfa zarrachalarining teskari tarqalishi umuman bo'lmasligi kerak edi. Alfa zarralari plyonkadan deyarli to'siqsiz o'tib ketganligi sababli, eng kichik burilishlar bo'lishi kerak. Buning o'rniga, Marsden detektorni alfa zarrachalar manbai bilan folga tomonning bir tomoniga qo'yganda, u darhol sezilarli orqaga qarab signalni aniqladi. Rezerfordning so'zlariga ko'ra, "Bu mening hayotimda hech qachon sodir bo'lmagan eng ajoyib voqea edi. Siz xuddi 15 dyuymli qobiqni to'qima qog'ozga otib yuborganingiz kabi qaytib keldingiz va sizni urib yuborgandek ajoyib edi".[1]

Rezerford natijani izohladi Geyger - Marsden tajribasi a belgisi sifatida Kulon to'qnashuvi bitta massiv musbat zarracha bilan Bu uni atomning musbat zaryadi tarqalishi mumkin emas, aksincha bitta katta yadroda to'planishi kerak degan xulosaga olib keldi. atom yadrosi. Hisob-kitoblar shuni ko'rsatdiki, bu burilishni bajarish uchun zarur bo'lgan zaryad elektronning zaryadidan taxminan 100 baravar ko'p, oltinning atom soniga yaqin. Bu rivojlanishiga olib keldi Rezerford modeli musbat yadro hosil bo'lgan atomning Ne ijobiy zarralar yoki protonlar bilan o'ralgan N yadro zaryadini muvozanatlash uchun zaryad elektronlari -e. Ushbu model oxir-oqibat tomonidan o'zgartirildi Bor atomidir, ba'zi dastlabki natijalarni o'z ichiga olgan kvant mexanikasi.

Agar tushayotgan zarrachaning energiyasi etarlicha ko'paytirilsa, Kulon to'sig'i oshdi va to'lqin funktsiyalari hodisa va urilgan zarralar ustma-ust tushadi. Buning sababi bo'lishi mumkin yadroviy reaktsiyalar ba'zi holatlarda, lekin tez-tez o'zaro ta'sir qoladi elastik, ammo sochilgan tasavvurlar energiya funktsiyasi sifatida vahshiy ravishda o'zgarishi mumkin. Ushbu holat "Elastik (rezerford bo'lmagan) backscattering spektrometriyasi" (EBS) deb nomlanadi. So'nggi paytlarda EBS tarqalishining kesimini echish yo'li bilan aniqlashda katta yutuqlarga erishildi Shredinger tenglamasi har bir o'zaro ta'sir uchun[iqtibos kerak ].

Asosiy tamoyillar

Biz Rezerfordning orqaga tarqoqligini an elastik, qattiq shar tushayotgan nurdan yuqori kinetik energiya zarrasi ( snaryad) va namunada joylashgan statsionar zarracha ( nishon). Elastik bu kontekstda to'qnashuv paytida tushayotgan zarracha va statsionar zarracha o'rtasida energiya o'tkazilmasligi va harakatsiz zarrachaning holati o'zgarmasligini anglatadi. (Faqatgina unchalik katta bo'lmagan impuls uchun bundan mustasno.) Yadro shovqinlari odatda elastik emas, chunki to'qnashuv natijasida ko'p miqdordagi energiya chiqishi bilan yadro reaktsiyasi paydo bo'lishi mumkin. Yadro reaktsiyasini tahlil qilish (NRA) yorug'lik elementlarini aniqlash uchun foydalidir. Ammo, bu Rezerfordning tarqalishi emas kinematik to'qnashuv (ya'ni, impuls va kinetik energiyani saqlash), energiya E1 sochilgan snaryadning dastlabki energiyasidan E kamayadi0:

bu erda k nomi bilan tanilgan kinematik omilva

[2]

bu erda 1-zarracha o'q, 2-zarra nishon yadrosi va laboratoriyada snaryadning sochilish burchagi ma'lumotnoma doirasi (ya'ni kuzatuvchiga nisbatan). Ortiqcha belgi snaryad massasi nishonga nisbatan kam bo'lganida olinadi, aks holda minus belgisi olinadi.

Ushbu tenglama har qanday sochilish burchagi uchun (kuzatuvchiga nisbatan) sochilgan snaryadning energiyasini to'g'ri aniqlasa-da, bunday hodisani kuzatish ehtimolini tasvirlamaydi. Buning uchun bizga kerak differentsial kesma orqaga qaytish hodisasi:

[2]

qayerda va hodisa va nishon yadrolarining atom sonlari. Ushbu tenglama massa markazi ma'lumotnoma doirasi va shuning uchun na snaryad yoki nishon yadrosi massasining funktsiyasi emas.

Laboratoriya mos yozuvlar tizimidagi tarqalish burchagi bu emas massa mos yozuvlar doirasi markazidagi sochilish burchagi bilan bir xil (garchi RBS tajribalari uchun ular odatda juda o'xshash). Biroq, og'ir ionli snaryadlar osongina mumkin orqaga chekinmoq engilroq ionlar, agar ular geometriya to'g'ri bo'lsa, maqsaddan chiqarib yuborilishi va aniqlanishi mumkin. Bu asos Orqaga qaytarishni aniqlash (ERD, ERDA, FRS, HFS sinonimlari bilan) texnikasi. RBS tez-tez Hni qaytaradigan He nuridan foydalanadi, shuning uchun bir vaqtning o'zida RBS / ERD namunalarning vodorod izotoplari tarkibini tekshirish uchun tez-tez amalga oshiriladi (garchi 1 MV dan yuqori U nurli H ERD Rezerford emas: qarang http://www-nds.iaea.org/sigmacalc ). ERD uchun laboratoriya mos yozuvlar doirasidagi sochilish burchagi ommaviy mos yozuvlar markazining markazidan ancha farq qiladi.

Og'ir ionlar qila olmaydi orqagayorug'likdan tarqalish: kinematik ravishda taqiqlangan. Kinematik omil haqiqiy bo'lib qolishi kerak va bu laboratoriya ma'lumot bazasida ruxsat etilgan tarqalish burchagini cheklaydi. ERD-da tez-tez orqaga qaytish detektorini orqaga burilish burchaklarida joylashtirish, sochilgan nurdan signalni taqiqlash uchun etarli. Qaytish intensivligi bilan taqqoslaganda ionlarning intensivligi har doim juda katta (Ruterford tarqalishining kesma formulasi, tarqalish burchagi nolga borgan sari cheksizlikka boradi) va ERD uchun tarqalgan nurni o'lchovdan qandaydir tarzda chiqarib tashlash kerak.

Rezerfordning sochilish kesimining formulasidagi o'ziga xoslik, albatta, fizikaviy emas. Agar sochilish kesmasi nolga teng bo'lsa, demak, u snaryad hech qachon nishonga yaqinlashmaydi, ammo bu holda u hech qachon yadroni o'rab turgan elektron bulutiga ham kirmaydi. Buning uchun yuqorida ko'rsatilgan sochish kesmasi uchun toza Kulon formulasini tuzatish kerak skrining effekti, bu snaryadning energiyasi pasayganda (yoki shunga teng ravishda uning massasi ko'payganda) muhimroq bo'ladi.

Katta burchakli tarqalish faqat maqsad yadrolarini tarqatib yuboradigan ionlar uchun sodir bo'lsa, elastik bo'lmagan kichik burchakli sochilish namunali elektronlardan ham sodir bo'lishi mumkin. Bu tushayotgan ionlarning kinetik energiyasini ular namuna ichiga kirib borishi bilan asta-sekin pasayishiga olib keladi, shu sababli ichki yadrolardan teskari parchalanish kamroq "samarali" tushish energiyasi bilan sodir bo'ladi. Xuddi shunday orqaga taralgan ionlar namunadan chiqqanda elektronlarga energiya yo'qotadi. Berilgan masofani bosib o'tgandan so'ng ion energiyasini tushiradigan miqdori, deb ataladi to'xtatish kuchi va elektronlarning tarqalishiga bog'liq. Ushbu energiya yo'qotilishi bosib o'tgan masofaga nisbatan doimiy ravishda o'zgarib turadi, shuning uchun to'xtash kuchi quyidagicha ifodalanadi

[3]

Yuqori energiya ionlari uchun to'xtash quvvati odatda mutanosib bo'ladi ; ammo to'xtash quvvatini aniq hisoblashni har qanday aniqlik bilan bajarish qiyin.

Quvvatni to'xtatish (to'g'ri, to'xtatish kuchi) birlik uzunligiga energiya birliklariga ega. Odatda u yupqa plyonkali birliklarda beriladi, ya'ni eV / (atom / sm)2) chunki u qalinligi har doim birlik uchun massa sifatida mutloq o'lchanadigan ingichka plyonkalarda eksperimental ravishda o'lchanadi, chunki bu qalinligi funktsiyasi sifatida o'zgarishi mumkin bo'lgan materialning zichligini aniqlash muammosidan qochadi. To'xtatish quvvati endi barcha materiallar uchun 2% atrofida ma'lum, qarang http://www.srim.org.

Asboblar

Bir darajali 2 MeV chiziqli Van de Graaff zarralar tezlatuvchisi, bu erda texnik xizmat ko'rsatish uchun ochilgan

RBS vositasi odatda uchta muhim komponentni o'z ichiga oladi:

Tijorat RBS tizimlarida bir yoki ikki bosqichda ishlaydigan ikkita umumiy manba / tezlashtirish tartibi qo'llaniladi. Bir bosqichli tizimlar He dan iborat+ ion manbasiga tatbiq etilgan yuqori ijobiy potentsialga ega bo'lgan tezlashuv naychasiga ulangan manba va tezlashuv naychasining uchidagi tuproq. Ushbu tartib sodda va qulaydir, lekin tizimga juda yuqori kuchlanishlarni kiritish qiyinligi sababli 1 MeV dan ko'proq energiyaga erishish qiyin bo'lishi mumkin.

Ikki bosqichli tizimlar yoki "tandem tezlatgichlar" He manbasidan boshlanadi ionlari va musbat terminalni tezlashtirish naychasining markaziga qo'ying. Ijobiy terminali tarkibiga kiruvchi striptiz elementi u orqali o'tadigan ionlardan elektronlarni chiqarib, He ni o'zgartiradi Unga ionlar++ ionlari. Shunday qilib, ionlar terminalga jalb qilishni boshlaydilar, o'tadilar va ijobiy holga keladilar va trubadan erga chiqquncha qaytariladilar. Ushbu tartib murakkabroq bo'lsa-da, pastroq qo'llaniladigan kuchlanish bilan yuqori tezlanishlarga erishishning afzalliklariga ega: 750 kV kuchlanishli odatdagi tandem tezlatgichi 2 MV dan yuqori energiya olishlari mumkin.[4]

Orqaga tarqalgan energiyani o'lchash uchun detektorlar odatda kremniy to'siqni aniqlovchi detektorlar, juda yupqa qatlam (100 nm) ning P turi kremniy an N-turi substrat hosil qiluvchi a p-n birikmasi. Detektorga etib boradigan ionlar energiyaning bir qismini yo'qotadi noaniq tarqalish elektronlardan hosil bo'ladi va bu elektronlarning ba'zilari engib o'tish uchun etarli energiya oladi tarmoqli oralig'i yarimo'tkazgich o'rtasida valentlik va o'tkazuvchanlik lentalari. Bu shuni anglatadiki, detektorga tushgan har bir ion ba'zi bir sonlarni hosil qiladi elektron teshik juftlari ionning energiyasiga bog'liq. Ushbu juftlarni detektor bo'ylab kuchlanishni qo'llash va oqim energiyasini o'lchash orqali aniqlash mumkin, bu ion energiyasini samarali o'lchashni ta'minlaydi. Ion energiyasi va ishlab chiqarilgan elektron-teshik juftlari soni o'rtasidagi bog'liqlik detektor materiallariga, ion turiga va oqim o'lchovining samaradorligiga bog'liq bo'ladi; energiya o'lchamlari termal tebranishlarga bog'liq. Detektorga bitta ion tushgandan so'ng, ba'zi bo'ladi o'lik vaqt elektron teshik juftlari qayta birlashmasidan oldin, unda ikkinchi tushgan ionni birinchisidan ajratib bo'lmaydi.[5]

Aniqlanishning burchakka bog'liqligiga harakatlanuvchi detektor yordamida yoki amaliy ravishda sirt to'siqni detektorini mustaqil ravishda o'lchash mumkin bo'lgan ko'plab mustaqil hujayralarga ajratish orqali erishish mumkin, bu esa to'g'ridan-to'g'ri (180 daraja) orqaga burilish atrofidagi ba'zi burchaklarni qamrab oladi. Hodisa nurining burchakka bog'liqligi egiluvchan namunaviy bosqich yordamida boshqariladi.

Tarkibi va chuqurligini o'lchash

Orqaga tarqalgan ionning energiyani yo'qotishi ikki jarayonga bog'liq: namuna yadrolari bilan tarqalish hodisalarida yo'qolgan energiya va namunadagi elektronlardan kichik burchakli tarqalishda yo'qolgan energiya. Birinchi jarayon yadroning sochilish kesimiga va shu bilan uning massasi va atom soniga bog'liq. Belgilangan o'lchov burchagi uchun ikki xil elementning yadrolari tushgan ionlarni har xil darajaga va har xil energiyaga sochib yuboradi va N (E) o'lchov uchastkasida energiyaga nisbatan alohida tepaliklarni hosil qiladi. Ushbu tepaliklar material tarkibidagi elementlarga xos bo'lib, sochilgan energiyani ma'lum sochilgan kesmalarga moslashtirish orqali namuna tarkibini tahlil qilish vositasini beradi. Nisbatan kontsentratsiyani cho'qqilar balandligini o'lchash orqali aniqlash mumkin.

Ikkinchi energiya yo'qotish jarayoni, namunadagi elektronlarning to'xtash kuchi, yadro to'qnashuvlari natijasida hosil bo'ladigan katta diskret yo'qotishlarga olib kelmaydi. Buning o'rniga u elektron zichligiga va namunadagi bosib o'tgan masofaga bog'liq ravishda asta-sekin energiya yo'qotilishini hosil qiladi. Ushbu energiya yo'qotilishi, namunalar ichidagi yadrolardan uzilib tushadigan ionlarning o'lchangan energiyasini yadrolarning chuqurligiga qarab doimiy ravishda pasaytiradi. Natija shundan iboratki, keskin teskari tepaliklar o'rniga N (E) uchastkasida kutish mumkin edi, kengligi energiya va burchak o'lchamlari bilan aniqlanadi, kuzatilgan cho'qqilar asta-sekin past energiya tomon siljiydi, chunki ionlar egallagan chuqurlikdan o'tadi. element. Faqatgina namuna ichida biron bir chuqurlikda paydo bo'ladigan elementlarning tepalik holati bir oz miqdordagi siljishga ega bo'ladi, bu ionning ushbu yadrolarga erishish uchun bosib o'tgan masofasini bildiradi.

Amaliyotda kompozitsion chuqurlik profilini RBS N (E) o'lchovidan aniqlash mumkin. Namuna tarkibidagi elementlarni energiya spektridagi tepaliklar holatidan aniqlash mumkin. Chuqurlikni ushbu cho'qqilarning kengligi va siljish holatidan va tepalik balandliklaridan nisbiy kontsentratsiyasidan aniqlash mumkin. Bu, ayniqsa, ko'p qatlamli namunani tahlil qilish uchun yoki chuqurligi bilan doimiy ravishda o'zgarib turadigan tarkibi bo'lgan namuna uchun foydalidir.

Bunday o'lchov faqat elementar tarkibni aniqlash uchun ishlatilishi mumkin; namunaning kimyoviy tuzilishini N (E) profilidan aniqlash mumkin emas. Biroq, bu haqda RBS orqali kristalli tuzilmani o'rganish orqali biron bir narsani bilib olish mumkin. Ushbu turdagi fazoviy ma'lumotlarni blokirovka qilish va kanalizatsiya qilish imkoniyatlaridan foydalangan holda tekshirish mumkin.

Strukturaviy o'lchovlar: blokirovka va kanalizatsiya

Hodisalar nurlarining kristalli tuzilish bilan o'zaro ta'sirini to'liq tushunish uchun yana ikkita asosiy tushunchani tushunish kerak: blokirovka qilish va kanalizatsiya.

Parallel traektoriyalarga ega bo'lgan ionlar nuri nishon atomiga tushganda, u atomning tarqalishi nurning nishonga nisbatan "orqasida" konus shaklidagi mintaqada to'qnashuvlarning oldini oladi. Bu maqsad atomining itaruvchi potentsiali yaqin ion traektoriyalarini dastlabki yo'lidan uzoqlashtirishi va shunday deb atalishi bilan yuzaga keladi. blokirovka qilish. Ushbu bloklangan mintaqaning radiusi, asl atomdan L masofada, tomonidan berilgan

[6]

Ion namunaning ichkarisidan tarqalib ketgach, u ikkinchi atomni qayta tarqatib yuborishi mumkin va tarqoq traektoriya yo'nalishi bo'yicha ikkinchi bloklangan konusni hosil qiladi. Buni aniqlash burchagini tushgan burchakka nisbatan ehtiyotkorlik bilan o'zgartirish orqali aniqlash mumkin.

Kanalizatsiya tushayotgan nur kristallning asosiy simmetriya o'qiga to'g'ri kelganda kuzatiladi. Yuzaki atomlar bilan to'qnashuvni oldini oladigan hodisa yadrolari, atomlarning birinchi qatlami to'sib qo'yganligi sababli, namunadagi chuqurroq bo'lgan barcha atomlar bilan to'qnashuvlardan chiqarib tashlanadi. Bloklangan konusning radiusi bilan taqqoslaganda atomlararo masofa katta bo'lganida, tushgan ionlar atomlararo masofadan orqaga qaytmasdan ko'p marta o'tib ketishi mumkin. Bu hodisa nurlari simmetriya yo'nalishlaridan biri bo'yicha yo'naltirilganda, namunaning muntazam kristalli tuzilishini aniqlashga imkon berganda, kuzatilgan teskari signalning keskin pasayishiga olib kelishi mumkin. Kanalizatsiya juda kichik to'suvchi radiuslar uchun eng yaxshi ishlaydi, ya'ni He kabi yuqori energiyali, kam atomli hodisalar ionlari uchun.+.

Simmetriya yo'nalishiga nisbatan tushish ionining burchagi burilishining bardoshliligi to'siq radiusiga bog'liq bo'lib, ruxsat etilgan burilish burchagi bilan mutanosib bo'ladi

[7]

RBS cho'qqisining intensivligi uning kengligining katta qismida nurni kanalizatsiya qilishda pasayishi kuzatilsa, katta cho'qqining yuqori energiyali uchida tor cho'qqisi ko'pincha kuzatiladi, bu atomlarning birinchi qatlamidan sirt sochilishini anglatadi. Ushbu tepalikning mavjudligi RBS o'lchovlari uchun sirt sezgirligini ochadi.

Ko'chirilgan atomlarni profillash

Bundan tashqari, ionlarning kanalizatsiyasi, shuningdek, panjaraning shikastlanishi uchun kristalli namunani tahlil qilish uchun ham ishlatilishi mumkin.[8] Maqsad ichidagi atomlar o'zlarining kristalli panjarali joyidan siljigan bo'lsa, bu mukammal kristalga nisbatan yuqori teskari hosil bo'lishiga olib keladi. Tahlil qilinayotgan namunadagi spektrni mukammal kristalnikiga va tasodifiy (kanalizatsiz) yo'nalishda olingan (amorf namunadagi spektrning vakili) spektrini taqqoslash orqali kristalning shikastlanish darajasini aniqlash mumkin. siljigan atomlarning bir qismining atamalari. Amorf bo'lganda ushbu fraktsiyani materialning zichligi bilan ko'paytirish, shuningdek, siljigan atomlarning kontsentratsiyasini baholaydi. Ko'tarilgan teskari taranglik sodir bo'ladigan energiya, shuningdek, siljigan atomlarning chuqurligini aniqlash uchun ishlatilishi mumkin va natijada nuqson chuqurligi profilini yaratish mumkin.

Yuzaki sezgirlik

Odatda RBS namunaning asosiy tarkibi va tuzilishini o'lchash uchun ishlatilsa, namuna sirtining tuzilishi va tarkibi to'g'risida ba'zi ma'lumotlarni olish mumkin. Ommaviy signalni olib tashlash uchun signal uzatilganda, blokirovka effektlaridan foydalanib, birinchi bir necha atom qatlamlarining nisbiy holatini aniqlash uchun hodisa va aniqlash burchaklarini ehtiyotkorlik bilan manipulyatsiya qilish mumkin.

Namunaning sirt tuzilishini idealdan bir necha bor o'zgartirish mumkin. Birinchi atom qatlami keyingi qatlamlardan masofani o'zgartirishi mumkin (dam olish ); asosiy hajmdan farqli ravishda ikki o'lchovli tuzilmani qabul qilishi mumkin (qayta qurish ); yoki boshqa material bo'lishi mumkin adsorbsiyalangan yuzasiga Ushbu holatlarning har biri RBS tomonidan aniqlanishi mumkin. Masalan, sirtni qayta tiklashni nurni kanalizatsiya sodir bo'ladigan tarzda tekislash orqali aniqlash mumkin, shunda faqat ma'lum intensivlikdagi sirt tepasi aniqlanishi kerak. Odatdagidan yuqori intensivlik yoki kengroq cho'qqisi atomlarning birinchi qatlamlari ostidagi qatlamlarni to'sib qo'ymasligini, ya'ni sirt qayta tiklanganligini ko'rsatadi. Bo'shashishni shunga o'xshash protsedura yordamida namunani qiyshaytirib aniqlash mumkin, shunda ion nurlari tanlangan burchak ostida tushadi, shunday qilib birinchi qavat atomlari diagonalda teskari sochishni to'sib qo'yishi kerak; ya'ni blokirovka qiluvchi atomdan past va siljigan atomlardan. Kutilganidan yuqori bo'lgan teskari hosil birinchi qavatning ikkinchi qavatga nisbatan siljigan yoki bo'shashganligini ko'rsatadi. Adsorbat materiallari har xil tarkibi bilan aniqlanib, kutilayotgan holatga nisbatan sirt pikining holatini o'zgartiradi.

RBS, shuningdek, kanalizatsiya qilingan sirt pikidagi o'zgarishlarni tahlil qilish orqali sirtga ta'sir qiladigan jarayonlarni hajmdan farqli ravishda o'lchash uchun ishlatilgan. Bunga taniqli misol - Frenken, Maree va van der Veen tomonidan qo'rg'oshinli sirtlarning oldindan eritilishini RBS tahlil qilish. Pb ning RBS o'lchovida(110) past haroratlarda barqaror bo'lgan aniq belgilangan sirt tepaligi kengroq va qizg'inroq ekanligi aniqlandi, chunki harorat eruvchan haroratning uchdan ikki qismidan oshib ketdi. Tepalik, harorat eriydigan haroratga etib borganligi sababli, katta balandlik va kenglikka erishdi. Sirtning buzilishidagi bu o'sish, chuqurroq atomlarni hodisa nuriga ko'rinadigan qilib, sirtning oldindan erishi deb talqin qilingan va RBS jarayonini kompyuter simulyatsiyalari nazariy eritishdan oldingi taxminlar bilan taqqoslaganda shunga o'xshash natijalarga erishgan.[9]

RBS shuningdek birlashtirildi yadro mikroskopi, bu erda yo'naltirilgan ion nurlari a ga o'xshash tarzda sirt bo'ylab skanerlanadi elektron mikroskopni skanerlash. Ushbu turdagi dasturda teskari tarqoq signallarning energetik tahlili sirt haqida kompozitsion ma'lumot beradi, mikroprobning o'zi esa davriy sirt tuzilmalari kabi xususiyatlarni tekshirish uchun ishlatilishi mumkin.[10]

Shuningdek qarang

Izohlar

  1. ^ Rodos (1995) 48-49 bet
  2. ^ a b Oura va boshq. (2003) p. 110
  3. ^ Oura va boshq. (2003) p. 136
  4. ^ EAG asboblarini tayyorlash bo'yicha qo'llanma: http://www.eaglabs.com/training/tutorials/rbs_instrumentation_tutorial/rinstrum.php
  5. ^ EAG asboblarini tayyorlash bo'yicha qo'llanma: http://www.eaglabs.com/training/tutorials/rbs_instrumentation_tutorial/rspect.php
  6. ^ Oura va boshq. (2003) p. 114
  7. ^ Oura va boshq. (2003) p. 117
  8. ^ Feldman va boshq. (1982)
  9. ^ Frenken va boshq. (1986)
  10. ^ Xobblar va boshq. (1988)

Adabiyotlar

  • Rods, Richard (1986). Atom bombasini yaratish. Simon va Shuster. ISBN  978-0-684-81378-3.
  • Oura, K .; Lifshits, V.G .; Saranin, A.A.; Zotov, A.V .; va boshq. (2003). Yuzaki fan: kirish. Springer-Verlag. ISBN  3-540-00545-5.
  • Feldman, L.C .; Mayer, JW .; Picraux, S.T. (1982). Ion Channeling tomonidan materiallar tahlili. Akademik matbuot.
  • Feldman, L.C .; Mayer, J.W. (1986). Yuzaki va ingichka plyonkalar tahlili asoslari. Prentice-Hall.
  • "RBS nazariyasi qo'llanmasi". Evans Analitik guruhi: Trening. Olingan 2007-10-10.
  • "RBS asboblarini tayyorlash bo'yicha qo'llanma". Evans Analitik guruhi: Trening. Olingan 2007-10-10.
  • Xobbs, C.P .; McMillan, JW; Palmer, D.V. (1988). "Rezerford yadro mikroprobida sirt relyefining teskari tarqoqlik tahliliga ta'siri". Fizikani tadqiq qilishda yadro asboblari va usullari B. 30 (3): 342–348. Bibcode:1988 NIMPB..30..342H. doi:10.1016 / 0168-583X (88) 90023-7.
  • Frenken, JWM; Maree, PMJ; van der Veen, JF (1986). "Er yuzida boshlangan eritishni kuzatish". Fizika. Vahiy B.. 34 (11): 7506–7516. Bibcode:1986PhRvB..34.7506F. doi:10.1103 / PhysRevB.34.7506. hdl:1887/71635. PMID  9939429.